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1200℃管式爐CVD系統

1200℃管式爐CVD系統

時(shí)間:2020-07-20 15:38:28

所屬分類(lèi):第二代節能型馬弗爐

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  1200℃管式爐CVD系統廣泛適用于高、中、低溫CVD工藝,如:碳納米管的研制、晶體硅基板鍍膜、納米氧化鋅結構的可控生長(cháng)等等;也可適用于金屬材料的擴展焊接以及真空或保護氣氛下熱處理.
  SGM 1200℃管式爐CVD系統專(zhuān)門(mén)設計用于高溫材料沉積之用。1200℃管式爐CVD系統具有溫度均勻、控制穩定、溫區間溫度擾動(dòng)小、升溫速度快、節能、使用溫度高、壽命長(cháng)等特點(diǎn)。

  兩路氣體CVD系統產(chǎn)品特點(diǎn):

  1、1200℃管式采用優(yōu)質(zhì)電爐絲加熱。
  2、爐管為剛玉爐管爐膛。
  3、可預抽真空,便于通入參加反應的氣體,進(jìn)口單回路智能溫度控制儀控制、溫區設計隔板結構。
  4、管式爐有單管、雙管、臥式、可開(kāi)啟式、立式、單溫區、雙溫區、三溫區等多種管式爐型。